粗检漏和细检漏加压系统用于与 Trio-Tech G-254 型泄漏检测器配合使用，以检测微电子元件封装密封中的微小缺陷。加压系统以两阶段顺序对元件进行抽真空和加压，作为粗泄漏检测过程的一部分。测试可检测到 100 至10 -5 个大气压立方厘米/秒 (atm cc/sec) 范围内的粗泄漏，符合 MIL-STD-883 方法 1014.8 条件 C。粗检加压和细检加压系统由三个主要部件组成：真空